“Pura Plus 在线微量湿度异动变送器”参数说明
品牌: | 英国密析尔 | 输出信号: | 数字型 |
湿敏元件: | 电阻式 | 安装形式: | 在线式 |
型号: | Pura Plus | 规格: | Pura Plus |
产量: | 1000 |
“Pura Plus 在线微量湿度异动变送器”详细介绍
PuraPlus在线微量湿度异动变送器新型的PuraPlus是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的最新需求变化而特殊设计的。PuraPlus是一款在线微量湿度异动变送器,多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应最末端,用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂,涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后,会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入,影响下游使用。而安装在分布系统中的PuraPlus能够提供快速的响应指示,在20ppb湿气级别下1ppb的异动的响应时间小于1分钟。亮点·对ppb级别湿度异动的快速响应·低湿ppb级别的灵敏度(